Análisis de Tetrafluoruro de carbono espectrómetro de iones de helio

El cromatógrafo de iones de helio es adecuado para la detección de impurezas trazas en gases de la industria electrónica, con una pequeña concentración de detección de hasta 5 ppb. El instrumento está equipado con un detector de ionización de helio de alta sensibilidad, que utiliza la tecnología de corte central de huaai company, y las válvulas de entrada de muestra tienen un camino de gas de protección de soplado; Toda la máquina está diseñada con una caja de múltiples columnas y está equipada con un sistema de corrección automática de la presión de inyección.

Análisis de Tetrafluoruro de carbono espectrómetro de iones de helioEquipado con detectores de ionización de helio de alta sensibilidad, utilizando la tecnología de corte central de huaai company, las válvulas de entrada de muestra están equipadas con canales de gas de protección de soplado; Toda la máquina está diseñada con una caja de múltiples columnas y está equipada con un sistema de corrección automática de la presión de inyección para garantizar la cantidad de inyección de muestras con diferentes bases. Los productos han ganado sucesivamente el proyecto de nivel a de transformación de logros de alta tecnología en shanghai.

Proyecto	Indicadores
Tetrafluoruro de carbono (cf)4) pureza (fracción de volumen) / 10-2≥ 1	99.999	99.995	99.99
Nitrógeno (n2) contenido (fracción de volumen) / 10-6III.	4	20	40
Oxígeno + argón (o2+ ar) contenido (fracción de volumen) / 10-6III.	1	5	10
Dióxido de carbono (co2) contenido (fracción de volumen) / 10-6III.	1	5	10
Contenido de monóxido de carbono (co) (fracción de volumen) / 10-6III.	0.1	0.5	1
Hexafluoruro de azufre (sf)6) contenido (fracción de volumen) / 10-6III.	1	1	5
Humedad (h2O) contenido (fracción de volumen) / contenido, 10-6III.	3	5	10
Contenido de acidez (en hf) / 10-6III.	0.1	0.3	0.3
Otros compuestos halógenos de carbonoaContenido (fracción de volumen) / 10-6III.	1	10	30
Contenido total de impurezas (fracción de volumen) / L0-6 ≤	10	50	10
Partículas	Acuerdo entre la oferta y la demanda	Acuerdo entre la oferta y la demanda	Acuerdo entre la oferta y la demanda
Otros compuestos halógenos de carbono incluyen: hexafluoroetano, hexafluoropropano, etc.