Sistema de medición de micro - oxígeno de nivel ppm para procesos de tratamiento térmico de semiconductores

Sistema alemán de medición de micro - oxígeno Mesa, dedicado al proceso de tratamiento térmico del enlace de producción de semiconductores.

Sistema alemán de medición de micro - oxígeno MesaEs un sistema de precisión que extrae gas a una cámara de medición especial y luego realiza la medición de micro - oxígeno a una temperatura controlada estable a través de una sonda lambda, que puede exportar señales analógicas correspondientes al contenido de oxígeno en ppm.

Rango: 0... 5 / 10 / 100 / 10000 PPM

Precisión: + 1% FS

Ventaja: corrección de cuatro puntos

Salida: 0 (4)...... 20ma o 0... 10v

Origen: Alemania (certificación ISO 9001: 2015)

Industria aplicable: semiconductores

Cliente principal: Mattson

Sistema alemán de medición de micro - oxígeno MesaDiseñado con una sonda de Zirconia (sonda lambda), se puede mantener en una medición constante de 600 ° C sin verse afectado por la temperatura en el horno. la sonda Lambda funciona de manera estable, tiene una vida útil más larga que otros productos similares y una vida útil real de hasta 10 años;

Sistema alemán de medición de micro - oxígeno MesaCada sonda Lambda tiene su coeficiente único de deriva cero k1 y el coeficiente de compensación de temperatura k2, lo que hace que la señal de medición emitida por la fuente de alimentación inteligente sea más precisa.El rango y el tipo de salida son opcionales. Los resultados de la medición también se pueden conectar al ordenador superior a través de interfaces como RS232 / rs485 para realizar la función de control centralizado.