La estructura mecánica del robot de limpieza $r $n del robot de transporte de sustrato combina las características del proceso de producción y se divide principalmente en dos series principales, a saber, la serie de robots limpios de transporte multiarticular vertical y la serie de robots limpios de transporte multiarticular horizontal. El robot de limpieza de transporte multiarticular vertical realiza movimientos de actitud completa; El robot de limpieza de transporte multiarticular horizontal es un robot de movimiento lineal y rotativo horizontal, con alta velocidad y alta precisión, y acción rápida y precisa.
Robot de manipulación de sustrato
La estructura mecánica del robot de limpieza combina las características del proceso de producción y se divide principalmente en dos series principales, a saber, la serie de robots limpios de transporte multiarticular vertical y la serie de robots limpios de transporte multiarticular horizontal. El robot de limpieza de transporte multiarticular vertical realiza movimientos de actitud completa; El robot de limpieza de transporte multiarticular horizontal es un robot de movimiento lineal y rotativo horizontal, con alta velocidad y alta precisión, y acción rápida y precisa.